二十世紀六十年代以來，cvd技術被廣泛應用于硬質合金可轉位刀具的表面處理。由于CVD工藝氣相沉積所需金屬源的制備相對容易，可實現Tin、Tic、TiCN、Tibn、Tib2、Al2O3等單層及多元多層復合涂層的沉積，涂層與基體結合強度較高，薄膜厚度可達7～9μm，因此到八十年代中后期，美國已有85%的硬質合金工具采用了表面涂層處理，其中cvd涂層占到99%；到九十年代中期，cvd涂層硬質合金刀片在涂層硬質合金刀具中仍占80%以上。
盡管CVD涂層具有很好的耐磨性，但cvd工藝亦有其先天缺陷：一是工藝處理溫度高，易造成刀具材料抗彎強度下降；二是薄膜內部呈拉應力狀態，易導致刀具使用時產生微裂紋；三是cvd工藝排放的廢氣、廢液會造成較大環境污染，與目前大力提倡的綠色制造觀念相抵觸，因此自九十年代中期以來，高溫CVD技術的發展和應用受到一定制約。八十年代末，krupp.WIDIA開發的低溫化學氣相沉積(pcvd)技術達到了實用水平，其工藝處理溫度已降至450～650℃，有效抑制了η相的產生，可用于螺紋刀具、銑刀、模具的tin、ticn、tic等涂層，但迄今為止，pcvd工藝在刀具涂層領域的應用并不廣泛。九十年代中期，中溫化學氣相沉積(mt-cvd)新技術的出現使cvd技術發生了革命性變革。mt-cvd技術是以含c/n的有機物乙腈(ch3cn)作為主要反應氣體、與ticl4、H2、N2在700～900℃下產生分解、化學反應生成ticn的新工藝。采用mt-cvd技術可獲得致密纖維狀結晶形態的涂層，涂層厚度可達8～10μm。這種涂層結構具有極高的耐磨性、抗熱震性及韌性，并可通過高溫化學氣相沉積(ht-cvd)工藝在刀片表面沉積al2o3、tin等抗高溫氧化性能好、與被加工材料親和力孝自潤滑性能好的材料。
mt-cvd涂層刀片適于在高速、高溫、大負荷、干式切削條件下使用，其壽命可比普通涂層刀片提高一倍左右。目前，cvd(包括mt-cvd)技術主要用于硬質合金車削類刀具的表面涂層，涂層刀具適用于中型、重型切削的高速粗加工及半精加工。采用CVD技術還可實現α-Al2O3涂層，這是pvd技術目前難以實現的，因此在干式切削加工中，CVD涂層技術仍占有極為重要的地位。最常用的涂層：TiN，涂層顏色為金黃色，適合于加工低合金鋼和不銹鋼；TiCN(碳氮化鈦)，涂層顏色為灰色，硬度比TiN要高，耐磨性更好，其進給速度和切削速度分別較TiN高出40%和60%；TiAlN，涂層為灰色或黑色，主要涂在硬質合金刀具基體表面。
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